音圈式超精密主动隔振桌式平台 MRT系列

2016-04-18


       高强度铝合金蜂窝结构台面

       精密音圈电机驱动系统,灵敏、精度高

       霍尔传感器高度控制模块

       压电式加速度传感器采集系统,灵敏、精度高






 音圈式精密主动隔振桌式平台主要部件包括:高强度铝合金台体、高强度铝合金蜂窝结构台面、精密音圈电机组、霍尔传感器高度控制模块、压电式加速度传感器、精密振动滤波器、高速控制系统等组成。

本系统在工作状态中,金属压力弹簧受到压缩后,霍尔传感器采集的上台面高度变化数据,瞬间传送给微控制系统,从而使伺服电机驱动压力弹簧组件精确移动,始终保持台面与台体基面的距离相对固定,达到系统的自水平调节。

当系统受到外界的振动干扰时,系统中配备八个加速度传感器,感知六个自由度的信号,经过滤波放大、A/D转换,反馈到DSP控制系统。在DSP控制系统精确运算后,通过驱动六个方位音圈电机组作用于工作台面,提供大小相等方向相反的力。从而进一步降低台面的振动响应,达到环境复杂振动的最小化。

系统原理图:

音圈式超精密主动隔振桌式平台具有稳定性好,噪音低,控制精准,隔振效果明显,减振效率高,使用寿命长等特点。是复杂的环境宽频减振和隔振的最佳解决方案。

应用领域:

        高倍数电子显微镜操作

        高精度光刻机运用

        生物及基因工程研究

        对振动有极高要求的仪器设备

性能指标:

重量

50kg

外形尺寸

600×650×160mm

负载能力

15-100Kg

台面材料

蜂窝合金铝板

额定电压

220V

额定功率

50W

工作温度

15-40摄氏度

工作环境

置于平面度≤0.5mm/m²的硬质平面上

隔振频率

1-200Hz

隔振方向

六个自由度力的补偿,自动负荷调节功能

隔振性能

5Hz :衰减 90%

10Hz:衰减 95%

 

实验论证:

由下图可看出,平台加电前速度有效值约为0.053mm/s,加电后经过主动系统隔振,平台速度的有效值约为0.0018mm/s,隔振效果十分明显。

加电前平台速度时域图

 

加电后平台速度时域图



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